ASML und TSMC wollen den Umstieg auf 12-Zoll-Fotomasken für High-NA-EUV vorantreiben. Eine Pilotlinie ist für 2031 geplant. Die Chipausrüster ASML und der Auftragsfertiger TSMC haben eine branchenweite Initiative angekündigt, um die Umstellung von den derzeit üblichen 6-Zoll-Fotomasken auf ein größeres 12-Zoll-Format für die...
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TSMC und ASML stoßen Wechsel auf 12-Zoll-Fotomasken an
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